在11月4日举行的2025硬科技创新大会西安高新区系列活动——光子产业高峰会议上，陕西光电子先导院宣布“8英寸先进硅光集成技术创新平台”（简称“8英寸硅光平台”）已正式通线，并发布了一款无源SOI（绝缘衬底上的硅）集成超低损耗氮化硅产品的PDK（工艺设计套件），标志着西安高新区“追光计划”取得新的阶段性进展。

陕西光电子先导院总经理杨军红表示，作为西北地区首条硅光中试线，8英寸硅光平台的正式通线，不仅填补了区域硅光芯片中试领域空白，更成为陕西“追光计划”实施以来的标志性成果，将作为陕西打造千亿级光子产业集群的核心支点，为“追光计划”从蓝图迈向实践注入关键动力。

陕西光电子先导院总经理杨军红介绍“追光计划”进展及硅光中试平台

光电子先导院的8英寸硅光平台总投资7.5亿元，于2023年底启动建设。截至2025年9月末，已完成全部场地及硬件设施建设。该平台引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”，并引入了光刻、刻蚀等60余台（套）关键核心设备，在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上，开发90nm以上先进工艺，已构建起自主可控的先进工艺体系。

光电子先导院8英寸硅光平台白光区

“8英寸硅光平台的通线，彻底补全了陕西在硅光芯片中试领域的短板。”杨军红表示，作为“追光计划”的核心支撑平台，光电子先导院已累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试平台，此前6英寸化合物平台已服务50余家企业，如今硅光平台的加入，将与先进阿秒激光设施、光子传感园的产业化载体形成联动，为“追光计划”培育千亿级集群提供从基础研究、中试验证到量产落地的全链条支撑。

会议现场，光电子先导院还正式发布了一款无源SOI（绝缘衬底上的硅）集成超低损耗氮化硅产品的PDK（工艺设计套件）。

“这是光电子先导院8英寸硅光平台发布的首款PDK，预计将于2026年完成有源产品通线，包含高性能调制器、探测器等核心器件，将加速可应用于人工智能、光通信、光计算、智能驾驶、低空飞行、医疗健康等领域的产品迭代进程，将大幅缩短光电、硅光客户的流片周期和研发成本。”杨军红表示。

光电子先导院8英寸硅光平台黄光区，技术人员正在操作光刻机

自2021年陕西“追光计划”启动以来，全省光子产业已实现跨越式成长，作为核心承载区的西安高新区，聚力打造光子芯片、制造、传感三大产业聚集区，建成一批协同创新平台，构建起从创新策源到产业落地的完整链条。而光电子先导院正是这一布局中的“创新策源中枢”。

数据显示，“追光计划”推进四年来，光电子先导院已解决100余家初创企业“研发难、流片难”问题。此次硅光中试线的启用，使光电子先导院形成“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”的双中试平台格局，成为国内少数具备全链条中试能力的创新载体，从而进一步促进西安高新区光子产业高质量发展。