新华社上海5月21日电(记者高少华)上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸集成电路生产线项目21日实现首台工艺设备——光刻机搬入，这也是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。
华力12英寸先进生产线建设项目总投资387亿元人民币，被列为国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》，也是“十三五”期间上海市重大产业项目和上海市重大工程。
华力12英寸先进生产线建设项目主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造需求。
根据规划，该项目将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底达到产能目标。
项目建成后，上海华力集成电路制造有限公司母公司——上海华虹集团的集成电路制造能力将覆盖0.5微米-14纳米各工艺技术平台。(完)
